Thyrobox PI 多晶硅系统

power supply, polysilicon production

用于多晶硅生产的能源供应系统

Thyrobox供电系统已经在全球得到广泛的成功运营,成为了多晶硅生产过程中最具可靠性和可重复性的同义词。

作为多晶硅生产能源供应领域的全球领军企业,安奕极能源系统为多晶硅生产过程提供量身定做的解决方案。安奕极Thyrobox电源系统拥有艺术级的交流电技术,与其它技术相比极度节能可靠。

多晶硅生产中典型的Thyrobox应用包括为D反应器中的多晶硅棒直接加热供电,该装置又称为沉积反应器,以及对H反应器(STC-TCS转换器)中的石墨元件直接加热供电。

 

power supply, polysilicon production

下图描述了不同的沉积反应器设计。

Thyrobox供电系统符合D和H反应器的复杂需求。下图展示了当前使用的标准供电系统

THYROBOX为多晶硅生产供电系统提供可靠质量保障

Thyrobox M

 D反应器

用于12、18、24和27对反应棒的反应器中CVD沉积过程进行中压点火、预热和过程加热的模块系统

Thyrobox MV-I

D反应器

作为现有Thyrobox VSC供电系统附加装置,对于硅棒对进行中压点火的供电系统

Thyrobox VSC-C

H反应器

用于具有多级VSC线路H反应器的能源供应系统

Thyrobox PI

Thyrobox PI拥有突破性专利技术,是提高竞争力的有力手段::

• 提高沉积温度
•增加硅棒直径
• 防止棒芯熔化
• 减少硅棒机械应力
• 避免硅棒裂纹和系统关闭
• 减少热点


将反应器内部众所周知的技术问题降低到最少是实现速度更快、问题更少的沉积过程的基础。Thyrobox PI模块可用于所有装有Thyrobox VSC或Thyrobox M的沉积反应器。

 

THYROBOX PI-供电亮点

基于多年经验和已经拥有得到验证的现场记录的Thyrobox元件,持续的设计创新为客户提供了艺术级的完整解决方案,从而在多晶硅产业中具有竞争力。

Thyrobox供电设计的最新里程碑是Thyrobox PI。

Thyrobox™ Thyrobox™过程优化了不断增加的生产量

Thyrobox PI

D-Reactor

用于加强沉积过程的能源供应系统(PI=过程提高))

为Thyrobox M或Thyrobox VSC提供额外能源供应,以增加输出,提高硅沉积质量

适用于所有反应器,如12、18、24和27对硅棒反应器

Thyrobox PI代表着过程提高,并为供电系统带来了大量益处,包括:

- 将沉积过程中的问题降低到最少

- 增加硅棒直径

这为多晶硅制造工厂带来了全年生产量的提高。如需更多关于Thyrobox PI的信息,可以参见关于本产品的宣传单页。

power supply, polysilicon production

用于D反应器的THYROBOX

用于24对硅棒的Thyrobox

宽X高X深:4400 x 2200 x 1600[毫米][mm]

下图展示了用于24对硅棒CVD反应器的Thyrobox M。其特点包括用于反应器中所有硅棒的中压点火,以及用于CVD程序的供电。

全球服务

全球所有安奕极能源系统供应的Thyrobox供电系统均由合格的服务技术人员团队进行安装和维护,该团队在用于为多晶硅生产反应器供电方面具有现场经验。

更多信息

如需关于安奕极能源系统和Thyrobox用于多晶硅生产的能源供应系统的更多信息,请访问下列网站: polysilicon@aegps.com

 

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